[发明专利]用于晶片等对象的2D/3D检测的色差共焦装置和方法有效
| 申请号： | 201780020034.9 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109073368B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 吉莱斯·弗莱斯阔特;阿兰·库特维尔;菲利普·加斯塔尔多 | 申请（专利权）人： | FOGALE纳米技术公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B21/00;G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测诸如晶片等对象(10)的表面的共焦色差装置，包括具有收集孔(14)的多个光学测量通道(24)，收集孔(14)布置为在多个测量点(15)处通过色差透镜(13)收集由对象(10)反射的光，所述多个光学测量通道(24)包括具有用于测量所收集的光的总强度的强度检测器(20)的光学测量通道(24)。本发明还涉及一种用于检测诸如包括三维结构(11)的晶片等对象(10)的表面的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶片 对象 检测 色差 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测对象(10)的表面的共焦色差装置，对象(10)例如是晶片，所述装置包括：‑色差透镜(13)，其具有扩大的轴向色差；‑光源(19)，其用于通过色差透镜(13)，利用聚焦在不同轴向距离处的多个光波长来照射对象(10)；‑多个光学测量通道(24)，其具有收集孔(14)，布置为在多个测量点(15)处通过色差透镜(13)收集由对象(10)反射的光；其特征在于，所述多个光学测量通道(24)包括具有强度检测器(20)的光学测量通道(24)，强度检测器(20)用于测量所收集的光的总强度。
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