[发明专利]线锯装置的制造方法及线锯装置有效
| 申请号： | 201780018553.1 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN108778623B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 宇佐美佳宏 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人： | 许天易 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种线锯装置的制造方法，该线锯装置包括钢线供给轴盘、长型辊、导线器、钢线卷收轴盘及被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该线锯装置的制造方法包括下列步骤：测定该长型辊的表面粗糙度Rmax；自该钢线供给轴盘伸出该钢线时，测定该张力臂的角度摆动至该经设定的控制角度的范围外时的该张力臂的角度a(°)；将该经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm)，计算出R1×2×A÷(|a|+A)＝R2；以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。由此，可防止张力臂大幅摆动至控制范围外。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种线锯装置的制造方法，该线锯装置包括：伸出钢线的钢线供给轴盘、使得自该钢线供给轴盘伸出的该钢线得以通过表面上的长型辊、供该钢线螺旋状缠绕于周围的多个导线器、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及配置于该钢线供给轴盘与该导线器之间且被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该钢线得以在于该长型辊的轴方向移动的同时通过该长型辊上，该线锯装置的制造方法包含下列步骤：测定该长型辊的表面粗糙度Rmax；自该钢线供给轴盘伸出该钢线时，测定该张力臂的角度摆动至该经设定的控制角度的范围外时的该张力臂的角度a(°)；将经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm)，计算出R1×2×A÷(|a|+A)＝R2；以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。
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