[发明专利]导电性层叠体的制造方法、层叠体及导电性层叠体

摘要

本发明的课题在于提供一种能够在与图案状被镀层对应的位置形成低电阻的金属层的导电性层叠体的制造方法、层叠体及导电性层叠体。本发明的导电性层叠体的制造方法具有：使用规定的被镀层形成用组合物，在基材上形成被镀层形成用层的工序；对被镀层形成用层以图案状实施曝光处理及显影处理，而形成包含线宽小于3μm的部分的图案状被镀层的工序；使用含有镀覆催化剂或其前体的碱性的镀覆催化剂赋予液，将镀覆催化剂或其前体赋予到图案状被镀层的工序；及使用含有氨基羧酸类的镀覆液，对赋予有镀覆催化剂或其前体的图案状被镀层进行镀覆处理，而在图案状被镀层上形成金属层的工序。

主权项

1.一种导电性层叠体的制造方法，所述导电性层叠体具有基材、图案状被镀层及金属层，所述导电性层叠体的制造方法具有：使用含有聚合引发剂与以下的化合物X或组合物Y的被镀层形成用组合物，在所述基材上形成被镀层形成用层的工序；对所述被镀层形成用层以图案状实施曝光处理，并实施显影处理，而形成包含线宽小于3μm的部分的所述图案状被镀层的工序；使用含有镀覆催化剂或其前体的碱性的镀覆催化剂赋予液，将所述镀覆催化剂或其前体赋予到所述图案状被镀层的工序；及使用含有氨基羧酸及氨基羧酸盐中的至少一者的镀覆液，对赋予了所述镀覆催化剂或其前体的所述图案状被镀层进行镀覆处理，在所述图案状被镀层上形成所述金属层的工序，化合物X：具有与镀覆催化剂或其前体进行相互作用的官能团及聚合性基团的化合物，组合物Y：含有具有与镀覆催化剂或其前体进行相互作用的官能团的化合物及具有聚合性基团的化合物的组合物。