[发明专利]基板处理方法及基板处理装置

摘要

在将内侧杯部(24)的上端配置于较外侧杯部(25)的上端靠下方的位置的外侧杯相对状态下，一面以通过外侧杯部(25)的内侧面接收从上表面(91)飞散的液体的方式使基板(9)以较高的转速旋转，一面朝上表面(91)上依次供给纯水、混合液及有机溶剂。接着，在内侧杯部(24)的内侧面被配置于基板(9)的周围的内侧杯相对状态下，朝上表面(91)供给填充材料溶液，在上表面(91)上填充填充材料溶液。由此，防止填充材料溶液与纯水在内侧杯部(24)内混合，从而防止填充材料溶液的胶状化等。通过供给将有机溶剂与纯水混合而成的混合液，抑制形成于上表面(91)的图案要素的倒塌。

主权项

1.一种基板处理方法，其中，该基板处理方法用于基板处理装置，该基板处理装置具备：外侧杯部，其围绕于在一个主表面形成有图案的基板的周围；及内侧杯部，其配置于上述外侧杯部的内侧；该基板处理方法具备：a)步骤，在将上述内侧杯部的上端配置于较上述外侧杯部的上端更靠下方的位置的第一状态下，朝通过基板旋转机构旋转的上述基板的朝向上方的上述主表面供给纯水，并由上述外侧杯部的内侧面接收从上述主表面飞散的上述纯水；b)步骤，在上述第一状态下，朝旋转的上述基板的上述主表面供给将规定的有机溶剂与纯水混合而成的混合液，并由上述外侧杯部的上述内侧面接收从上述主表面飞散的上述混合液；c)步骤，在上述第一状态下，朝旋转的上述基板的上述主表面供给上述有机溶剂，并通过上述外侧杯部的上述内侧面接收从上述主表面飞散的上述有机溶剂；d)步骤，一面在上述主表面上保持覆盖上述主表面的上述有机溶剂的液膜，一面通过使上述内侧杯部相对于上述基板上升来形成使上述内侧杯部的内侧面配置于上述基板的周围的第二状态；以及e)步骤，在上述第二状态下，通过朝上述主表面供给比重较上述有机溶剂大的填充材料溶液，在上述主表面上填充上述填充材料溶液。