[发明专利]真空冷却装置

摘要

真空冷却装置(1)具备：第一冷却控制部(501)，其通过减压机构(3)将冷却槽(2)的内部压力减压到第一目标压力值，在达到第一目标压力值之后，将冷却槽(2)的内部压力在第一时间内维持为第一目标压力值；产品温度判定部(502)，在由第一冷却控制部(501)进行的冷却后判定产品温度传感器(21)的检测温度是否已达到目标温度；第二冷却控制部(503)在由产品温度判定部(502)判定为未达到目标温度的情况下，重新设定从设定温度减去第一温度而得到的温度，减压到由减压机构(3)重新设定的设定压力值，且具备在冷却槽(2)的内部压力达到设定压力值之后，将冷却槽(2)的内部压力在第二时间内维持为设定压力值的第二冷却保持控制部(5033)。

主权项

1.一种真空冷却装置，其中，所述真空冷却装置具备：冷却槽，其收容被冷却物；产品温度传感器，其检测所述被冷却物的温度；减压机构，其对所述冷却槽的内部空间进行减压；以及控制部，所述控制部具备第一冷却控制部、产品温度判定部及第二冷却控制部，所述第一冷却控制部具备：第一减压控制部，其通过所述减压机构将所述冷却槽的内部的压力值减压到基于预先设定好的目标温度而设定的第一目标压力值；以及第一冷却保持控制部，其在所述冷却槽的内部的压力值达到所述第一目标压力值之后，将所述冷却槽的内部的压力值在第一时间内维持为所述第一目标压力值，所述产品温度判定部在由所述第一冷却控制部进行的冷却后判定所述产品温度传感器的检测温度是否已达到所述目标温度，所述第二冷却控制部具备：第二冷却参数设定部，其在由所述产品温度判定部判定为所述产品温度传感器的检测温度未达到所述目标温度的情况下，将从所述目标温度减去预先设定好的第一温度而得到的温度设定为设定温度，并且将作为所述设定温度的压力换算值的压力值设定为设定压力值；第二减压控制部，其通过所述减压机构将所述冷却槽的内部的压力值减压到由所述第二冷却参数设定部设定的设定压力值；以及第二冷却保持控制部，其在所述冷却槽的内部的压力值达到所述设定压力值之后，将所述冷却槽的内部的压力值在预先设定好的第二时间内维持为所述设定压力值。