[发明专利]光学检测系统在审
| 申请号： | 201780000047.X | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN107110790A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 吴昌力;刘颖 | 申请（专利权）人： | 香港应用科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香港*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学检测系统，在制造期间检测物体诸如电子装置等的缺陷。光学检测系统包括第一线光源，其沿着扫描线照射第一光束到物体顶表面上，横跨物体宽度。第二线光源与第一线光源之间形成一个角度，照射第二光束到物体的侧表面上。照相机接收来自物体顶表面和侧表面的散射光，并沿着扫描线拍摄物体的子图像。图像处理系统从照相机接收每个子图像，拼接子图像，并检测物体顶表面和侧表面上的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种检测物体缺陷的光学检测系统，包括：第一线光源，其长度比所述物体的宽度更长，位于所述物体的上方，并沿着扫描线，照射第一光束到所述物体顶表面上，横跨所述物体宽度；第二线光源，其与所述第一线光源形成一个35‑45度范围的角度，并照射第二光束到所述物体侧表面上；相机，其接收来自所述物体顶表面和侧表面上的散射光，所述物体处于所述第一线光源和所述第二线光源的照明下，所述相机沿着所述扫描线拍摄所述物体的子图像；和图像处理系统，其从所述相机接收每个子图像，拼接所述子图像，并检测所述物体顶表面和侧表面上的缺陷。
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