[外观设计]晶圆载具有效
| 申请号： | 201730682605.8 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN304893662S | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | Y·拉什科夫斯基;M·德什潘德;A·古拉里;S·克里希南;A·帕里克 | 申请（专利权）人： | 威科仪器有限公司 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：晶圆载具。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于在化学蒸汽沉积（CVD）系统中承载晶圆。3．本外观设计产品的设计要点：该晶圆载具的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图。5．省略视图：设计1和2的左视图分别与其右视图对称，因此省略设计1和2的左视图；设计1和2的俯视图分别与其经逆时针旋转90°的右视图相同，因此省略设计1和2的俯视图；设计1和2的仰视图分别与其经顺时针旋转90°的右视图相同，因此省略设计1和2的仰视图。6．指定基本设计：设计1。7．设计2与设计1的不同之处在于：晶圆接收孔（pockets）之间的间距不同，以及晶圆接收孔中心环的相对于外环的位置不同。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 外观设计 省略 右视图 载具 俯视图 接收孔 左视图 仰视 化学蒸汽沉积 逆时针旋转 顺时针旋转 中心环 对称 承载 图片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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