[外观设计]溅射靶有效
| 申请号： | 201730150716.4 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN304530192S | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 田屋和美 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | 15-09 | 分类号： | 15-09 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444 | 代理人： | 龚敏,王刚 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称溅射靶。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用作溅射靶，本外观产品为在溅射装置内作为用于在基板上成膜的成膜材料的溅射靶，通过具有向溅射装置的安装孔、冷却水路等，构成了还同时具有作为背衬板的功能的背衬板一体型的溅射靶。3．本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片立体图1。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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