[实用新型]一种钟罩封头、钟罩以及还原炉有效
| 申请号： | 201721924747.1 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN207811279U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 徐兰 | 申请（专利权）人： | 徐兰 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610043 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种钟罩封头，其包括封头主体，封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，封头内壁的内侧形成第一容纳腔，封头内壁和封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道；封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，排气口与第一容纳腔连通，冷却介质出口与第一冷却通道连通。一种钟罩，其包括罩体以及上述钟罩封头，罩体的内部具有第二容纳腔，第二容纳腔与第一容纳腔连通。一种还原炉，其包括底盘以及上述钟罩，钟罩安装至底盘。其改善了还原炉的流场和温度场，硅棒上部及横梁的晶体硅光滑且质密。 | ||
| 搜索关键词： | 钟罩 容纳腔 封头 封头内壁 封头主体 还原炉 连通 冷却介质出口 冷却通道 排气口 底盘 外壁 罩体 间隔设置 空腔形成 晶体硅 温度场 横梁 硅棒 流场 光滑 | ||
【主权项】：
1.一种钟罩封头，其特征在于，其包括封头主体，所述封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，所述封头内壁的内侧形成第一容纳腔，所述封头内壁和所述封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道；所述封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，所述排气口与所述第一容纳腔连通，所述冷却介质出口与所述第一冷却通道连通。
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