[实用新型]OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统有效
| 申请号： | 201721922304.9 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207958140U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;杨志杰;刘建中;梁伟;崔德运;何炳;向德成;满小忠;朱坤 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统，其中OVD带状喷灯装置包括并列设置的用于喷出原料混合气的第一带状喷灯、用于喷出燃料气的第二带状喷灯和用于喷出氧气的第三带状喷灯，第一带状喷灯、第二带状喷灯和第三带状喷灯均分别包括相互连通的带状狭缝喷嘴和气体扩散结构，气体扩散结构的末端与对应的气源连通，气体扩散结构的中部设有n级气体缓冲扩散腔，n级气体缓冲扩散腔用于使工作时的每条带状喷灯的内部的气压均匀，其中n≥3。本实用新型的OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统既能满足高沉积速率的要求，还具有减少两端报废和不需移动灯具等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 喷灯 喷灯装置 气体扩散结构 制棒系统 喷出 本实用新型 气体缓冲 扩散腔 原料混合气 并列设置 带状狭缝 气源连通 移动灯具 喷嘴 燃料气 条带状 沉积 连通 气压 氧气 报废 | ||
【主权项】：
1.一种OVD带状喷灯装置，其特征在于，所述OVD带状喷灯装置包括并列设置的用于喷出原料混合气的第一带状喷灯、用于喷出燃料气的第二带状喷灯和用于喷出氧气的第三带状喷灯，所述第一带状喷灯、所述第二带状喷灯和所述第三带状喷灯均分别包括相互连通的带状狭缝喷嘴和气体扩散结构，所述气体扩散结构的末端与对应的气源连通，所述气体扩散结构的中部设有n级气体缓冲扩散腔，所述n级气体缓冲扩散腔用于使工作时的每条带状喷灯的内部的气压均匀，其中n≥3。
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