[实用新型]一种具有谐振腔波导的光谱调控器件

摘要

本实用新型提出了一种具有谐振腔波导的光谱调控器件，包括基板以及设置于基板内部的第一波导、第一耦合器、第二波导、第二耦合器、谐振腔，光从第一波导的一端进入，沿着第一波导的表面传输至另一端后，通过第一耦合器将光耦合至谐振腔内，光在谐振腔的表面进行传输，经过竖直波导后输出到谐振腔的输出端，然后传输至第二波导的另一端，光沿着第二波导的表面进行传输至第二波导的一端。该结构可在腔内引入单/双矩形波导调控谐振腔的共振模式，通过明暗模式干涉效应，实现多个Fano共振现象，并通过改变耦合距离或局部调整矩形波导的宽度、个数、位置等参数，可对Fano共振进行有效地调谐，实现多个非对称线型的Fano共振峰。该亚波长结构可广泛用于光传感与光检测等领域，为纳米集成光子学的发展提供有力支撑。

主权项

1.一种具有谐振腔波导的光谱调控器件，其包括基板以及设置于基板内部的第一波导、第一耦合器、第二波导、第二耦合器、谐振腔，其特征在于：谐振腔内还设置有与第一波导和第二波导垂直的竖直波导，谐振腔位于第一波导与第二波导之间，竖直波导位于谐振腔中间，第一耦合器位于第一波导与谐振腔之间，第二耦合器位于第二波导与谐振腔之间，第一波导为靠近基板左端的第一空腔，该第一空腔为一端开口，另一端封闭，第二波导为靠近基板右端的第二空腔，该第二空腔一端开口，另一端封闭，该第一空腔和第二空腔沿着基板的长度方向延伸，光从第一波导的一端进入，沿着第一波导的表面传输至另一端后，通过第一耦合器将光耦合至谐振腔内，光在谐振腔的表面进行传输，经过竖直波导后输出到谐振腔的输出端，然后传输至第二波导的另一端，光沿着第二波导的表面进行传输至第二波导的一端。