[实用新型]一种微桥结构阵列以及微测辐射热计有效
| 申请号： | 201721866262.1 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207881844U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡光艳;马占锋;高健飞;黄立 | 申请（专利权）人： | 武汉高德红外股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/24 | 分类号： | G01J5/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微桥结构阵列以及微测辐射热计，所述微桥结构包括桥腿层、热敏层，上锚柱、下锚柱，所述桥腿层通过下锚柱支撑于衬底的上方，所述热敏层通过上锚柱支撑于所述桥腿层的上方，所述上锚柱、下锚柱均位于桥腿层的边缘，以增加热敏层对红外辐射的吸收面积，同时将桥腿的布置空间最大化，增加桥腿的长度，减少热导，由该结构的微桥结构组成的阵列的上锚柱、下锚柱均匀布置在一排，可提高工艺的平整性以及探测器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 锚柱 桥腿 微桥结构 热敏层 微测辐射热计 本实用新型 布置空间 红外辐射 均匀布置 平整性 最大化 探测器 衬底 热导 支撑 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种微桥结构，由下至上包括矩形的桥腿层、热敏层，其特征在于，还包括两根垂直设置的上锚柱以及两根垂直设置的下锚柱，所述下锚柱支撑于桥腿层的下方，所述上锚柱支撑于所述热敏层以及所述桥腿层之间，所述两根下锚柱布置于桥腿层的边缘，两根上锚柱分别布置于桥腿层的两条对边上，所述桥腿层、热敏层、上锚柱、下锚柱电学连接。
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