[实用新型]磁控装置和物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 201721842146.6 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207793417U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 袁园;吴孝哲;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种磁控装置及一种动力齿轮物理气相沉积设备，所述磁控装置包括：动力齿轮，与一动力传动轴连接，用于在所述动力传动轴驱动下转动；第一磁铁自转组件，包括第一磁铁；第一自转齿轮，与所述动力齿轮咬合，通过第一传动机构连接至第一磁铁，用于通过所述第一传动机构带动所述第一磁铁进行自转；第二磁铁自转组件，包括第二磁铁；第二自转齿轮，与所述第一自转齿轮或所述动力齿轮咬合，通过第二传动机构连接至第二磁铁，用于通过所述第二传动机构带动所述第二磁铁进行自转。上述磁控装置能够提高磁力线的密度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 磁控装置 动力齿轮 自转齿轮 物理气相沉积设备 动力传动轴 自转组件 自转 咬合 磁力线 转动 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种磁控装置，其特征在于，包括：动力齿轮，与一动力传动轴连接，用于在所述动力传动轴驱动下转动；第一磁铁自转组件，包括第一磁铁；第一自转齿轮，与所述动力齿轮咬合，通过第一传动机构连接至第一磁铁，用于通过所述第一传动机构带动所述第一磁铁进行自转；第二磁铁自转组件，包括第二磁铁；第二自转齿轮，与所述第一自转齿轮或所述动力齿轮咬合，通过第二传动机构连接至第二磁铁，用于通过所述第二传动机构带动所述第二磁铁进行自转。
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