[实用新型]一种区域提纯工艺用石英舟有效
| 申请号： | 201721834974.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207676894U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 叶薇;李忠良;陈建才;杨文运;冯江敏;孙祥乐;李增寿;太云见;赵鹏;黄晖 | 申请（专利权）人： | 云南北方昆物光电科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;仇蕾安 |
| 地址： | 650223 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种区域提纯工艺用石英舟，属于光电材料技术领域。本实用新型所述的石英舟两端为半圆锥形状，其舟身高度为常规石英舟舟身高度的1/3～2/3，这样设计能够减小或消除材料在区域提纯过程中由于热胀冷缩作用对石英舟的压力，达到保护石英舟的目的，从而大大降低区域提纯过程中石英舟的破损率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英舟 本实用新型 提纯工艺 提纯 常规石英 光电材料 热胀冷缩 消除材料 圆锥形状 破损率 减小 | ||
【主权项】：
1.一种区域提纯工艺用石英舟，其特征在于：所述石英舟由石英管加工而成，石英舟舟身的高度为石英管半径的1/3～2/3，石英舟的两端加工成半圆锥形，圆锥的轴与圆锥的母线之间的夹角为22°～25°。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
