[实用新型]双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统

摘要

本实用新型公开了一种双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统，包括主轴、磨盘、声发射传感器、信号放大器和控制器；磨盘设在主轴；声发射传感器嵌入设置在磨盘并与工件相对应；声发射传感器与信号放大器电信号连接，信号放大器与控制器电信号连接；控制器与主轴电信号连接；通过声发射传感器实时采集工件加工过程中工件破碎的音频信号并传输至信号放大器，通过信号放大器将工件破碎的音频信号放大处理并传输至控制器，通过控制器接收工件破碎的音频信号并报警及控制主轴停机，从而实现了对晶片等硬脆性工件破碎的在线检测、报警与停机控制，有效避免了工件破碎导致的爆盘现象，大大提高了加工效率和产品良率，降低了生产成本。

主权项

1.一种双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统，其特征在于：包括主轴、磨盘、至少一个声发射传感器、信号放大器和控制器；所述磨盘设在主轴；所述声发射传感器嵌入设置在磨盘且不凸出于磨盘的工作面并与工件相对应；所述声发射传感器与信号放大器电信号连接，所述信号放大器与控制器电信号连接；所述控制器与主轴电信号连接。