[实用新型]一体化顶喷式蚀刻机有效
| 申请号： | 201721802120.9 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207877585U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;茆令文;鲍兆臣;张少波;徐翠珍;杨金发;谢加加;唐寿武;陶明山 | 申请（专利权）人： | 凯盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一体化顶喷式蚀刻机，包括蚀刻仓、储酸槽、储水槽与鼓风机，蚀刻仓内设有喷淋管，喷淋管设有喷嘴，喷嘴下方设有蚀刻篮具承载台；喷淋管入口连接有喷淋总管，储酸槽通过酸液管与喷淋总管相连，储水槽通过清洗水管与喷淋总管相连，酸液管的管路设有酸液循环泵与酸液电动阀，清洗水管的管路设有清洗循环泵与清洗电动阀；蚀刻仓底部设有三通阀，三通阀的进口与蚀刻仓底部相连通、两个出口分别与储酸槽及储水槽顶部相连通；鼓风机通过鼓风管与喷淋总管相连，鼓风管管路设有电动风阀；将传统蚀刻机的蚀刻部、装载部与清洗部融合在一个蚀刻仓内，极大地缩减了蚀刻机的体积，提高喷淋效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 喷淋总管 蚀刻机 储水槽 储酸槽 喷淋管 鼓风管 鼓风机 清洗水管 喷嘴 电动阀 顶喷式 三通阀 酸液管 酸液 清洗 本实用新型 电动风阀 清洗循环 入口连接 一体化 承载台 循环泵 篮具 喷淋 装载 融合 进口 出口 | ||
【主权项】：
1.一体化顶喷式蚀刻机，其特征在于，包括蚀刻仓、储酸槽、储水槽与鼓风机，所述蚀刻仓内设有喷淋管，喷淋管设有喷嘴，喷嘴下方设有蚀刻篮具承载台；喷淋管入口连接有喷淋总管，储酸槽通过酸液管与喷淋总管相连，储水槽通过清洗水管与喷淋总管相连，酸液管的管路设有酸液循环泵与酸液电动阀，清洗水管的管路设有清洗循环泵与清洗电动阀；蚀刻仓底部设有三通阀，三通阀的进口与蚀刻仓底部相连通、两个出口分别与储酸槽及储水槽顶部相连通；所述鼓风机通过鼓风管与喷淋总管相连，鼓风管管路设有电动风阀；所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部设有排污阀；所述储水槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储水槽底部设有排水阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于凯盛科技股份有限公司，未经凯盛科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721802120.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
