[实用新型]一种格栅式电极板等离子处理真空腔有效
| 申请号： | 201721722585.3 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207624654U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽，本真空腔体将垂直的电极板开槽变成栅栏式，在保证电极板强度和不影响反应区面积的情况下，解决反应气体的流通，溢散不畅，产品的均匀性不好，电源负载大的问题；将电极和产品固定都设置成竖直结构，能够保证每个产品与气体接触均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 电极板 真空腔体 阴极板 真空腔 卡槽 等离子处理 板体定位 格栅式 开槽 密封圈 本实用新型 阳极板表面 电源负载 反应气体 排列设置 气体接触 竖直结构 转动连接 垂直的 反应区 均匀性 手拉板 下表面 阳极板 栅栏式 电极 门体 内卡 垂直 体内 保证 流通 | ||
【主权项】：
1.一种格栅式电极板等离子处理真空腔，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽。
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