[实用新型]一种内离子源安装定位装置

摘要

本实用新型公开一种内离子源安装定位装置，包括定向轴套、第一连接法兰、离子源内套管、动密封、离子源外套管、真空抽气口、离子源头部、第二连接法兰、第三连接法兰；所述离子源内套管插入定向轴套内，定向轴套固定在第一连接法兰中间；所述离子源外套管套在离子源内套管外，离子源外套管右侧端口固定安装在第一连接法兰内；所述离子源内套管右端伸出第一连接法兰的右端，离子源内套管右端安装有离子源头部；中段外套管上设置有真空抽气口，上段外套管、中段外套管、下段外套管中间分别通过第二连接法兰、第三连接法兰固定。本实用新型具有结构简单、定位精准的特点。本实用新型增加动密封，保证了离子源在离子源内套管的垂直方向精度要求。 1

主权项

1.一种内离子源安装定位装置，包括定向轴套(1)、第一连接法兰(2)、离子源内套管(3)、动密封(4)、离子源外套管(5)、真空抽气口(6)、离子源头部(8)、第二连接法兰(9)、第三连接法兰(10)，其特征在于：

所述离子源内套管(3)插入定向轴套(1)内，定向轴套(1)固定在第一连接法兰(2)中间；所述离子源外套管(5)套在离子源内套管(3)外，离子源外套管(5)右侧端口固定安装在第一连接法兰(2)内；所述离子源内套管(3)右端伸出第一连接法兰(2)的右端，离子源内套管(3)右端安装有离子源头部(8)；所述离子源外套管(5)分为上段外套管(51)、中段外套管(52)、下段外套管(53)，其中中段外套管(52)上设置有真空抽气口(6)，上段外套管(51)、中段外套管(52)、下段外套管(53)中间分别通过第二连接法兰(9)、第三连接法兰(10)固定。

2.根据权利要求1所述的一种内离子源安装定位装置，其特征在于，所述下段外套管(53)与离子源内套管(3)中间安装有动密封(4)。

3.根据权利要求1所述的一种内离子源安装定位装置，其特征在于，所述动密封(4)包括密封圈(41)和垫片(42)，其中三个的密封圈(41)按离子源内套管(3)轴向排布，且密封圈(41)相互接触；垫片(42)包裹在密封圈(41)外部，压紧密封圈(41)。

4.根据权利要求1所述的一种内离子源安装定位装置，其特征在于，在所述动密封(4)和所述定向轴套(1)的定位作用下，离子源外套管(5)和离子源内套管(3)中心轴重合。

5.根据权利要求1所述的一种内离子源安装定位装置，其特征在于，所述离子源内套管(3)沿定向轴套(1)轴向滑动时，离子源内套管(3)仍保持与离子源外套管(5)中心轴重合。

6.根据权利要求1所述的一种内离子源安装定位装置，其特征在于，所述离子源头部(8)右侧安装有内离子源。

7.根据权利要求1所述的一种内离子源安装定位装置，其特征在于，所述真空抽气口(6)连接真空泵，使离子源内套管(3)和离子源外套管(5)之间空隙真空。