[实用新型]一种用于生产触摸屏的高精度光刻机

摘要

本实用新型公开了一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，属于光刻机领域，包括遮蔽罩体；遮蔽罩体内设有工作台、硅片、投影物镜、掩模台、以及紫外线光源；遮蔽罩体一面板的外壁上固定安装有吸尘装置。本实用新型公开的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，通过在光刻机屏蔽罩体的外壁上设置吸尘装置，并且在屏蔽罩体内设有微电脑粉尘仪，可以实现在光刻机工作前进行除尘，而且实时监控光刻机内部微尘颗粒的大小和浓度，从而保证光刻机在高质量的环境中进行工作，避免因环境中的固体颗粒而造成光刻效果不良。 1

主权项

1.一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

包括遮蔽罩体(1)；

所述遮蔽罩体(1)内设有工作台(2)、硅片(3)、投影物镜(4)、掩模台(5)、以及紫外线光源(6)；

所述工作台(2)固定连接于所述遮蔽罩体(1)底部上表面；

所述硅片(3)下表面贴合设于所述工作台(2)的上表面；

所述投影物镜(4)位于所述硅片(3)的上方；所述掩模台(5)固定连接于所述投影物镜(4)的上表面；

所述紫外线光源(6)位于所述掩模台(5)的上方；

所述紫外线光源(6)的一端固定连接于所述遮蔽罩体(1)的一内壁上；

所述遮蔽罩体(1)的一面板(11)的外壁上固定安装有吸尘装置(7)。

2.如权利要求1所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

所述吸尘装置(7)包括位于所述遮蔽罩体(1)外部的电机体(71)、穿过所述面板(11)的电机轴(72)、以及位于所述遮蔽罩体(1)内部的风扇(73)；

所述电机轴(72)的一端与所述电机体(71)的动力输出端连接；

所述电机轴(72)的另一端与所述风扇(73)固定连接。

3.如权利要求2所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

所述面板(11)对应所述风扇(73)的位置开设有吸尘孔(111)。

4.如权利要求3所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

所述吸尘装置(7)还包括集尘箱(74)、以及吸尘管道(75)；

所述集尘箱(74)设于所述遮蔽罩体(1)的外部；

所述集尘箱(74)的顶部开设有集尘口(741)；

所述集尘箱(74)上开设有排气口(742)；

所述吸尘管道(75)的一端与所述吸尘孔(111)密封连接，其另一端与所述集尘口(741)密封连接；

所述吸尘孔(111)、所述电机体(71)、以及所述集尘口(741)均位于所述吸尘管道(75)内。

5.如权利要求1所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

还包括微电脑粉尘仪(8)和控制器(9)；

所述微电脑粉尘仪(8)安装于所述遮蔽罩体(1)另一面板(12)的内壁上；

所述控制器(9)设于所述遮蔽罩体(1)的外部；

所述微电脑粉尘仪(8)与所述控制器(9)电连接。

6.如权利要求5所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

还包括设于所述遮蔽罩体(1)内的紫外辐射照计模块(10)；

所述紫外辐射照计模块(10)设于所述掩模台(5)与所述紫外线光源(6)之间；

所述紫外辐射照计模块(10)与所述控制器(9)电连接。

7.如权利要求4所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

所述吸尘管道(75)为软性PVC材料。

8.如权利要求5所述的一种用于生产触摸屏的高精度光刻机，其特征在于：

所述控制器(9)上设有显示屏幕(91)、暂停按钮(92)、以及启动按钮(93)。