[实用新型]集成式水冷板有效

专利信息
申请号: 201721617419.7 申请日: 2017-11-28
公开(公告)号: CN207581901U 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 么曼实;南建辉;管长乐 申请(专利权)人: 北京创昱科技有限公司
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00
代理公司: 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人: 周放;姜溯洲
地址: 102299 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种集成式水冷板,包括板体(1),所述板体(1)的顶部形成有冷却水道(2),所述板体(1)的底部设有与所述冷却水道(2)连通的进水管(3)和出水管(4),所述板体(1)的顶部还设有气道(5),所述气道(5)的顶部具有排气孔(6),所述板体(1)的底部设有与所述气道(5)连通的供气管(7)。本实用新型将气道集成于水冷板上,解决了狭小空间吹扫效果不佳的问题,还可以带动工艺载板下方气体流动,加快工艺载板的冷却速度。
搜索关键词: 板体 气道 冷却水道 集成式 水冷板 载板 连通 本实用新型 气道集成 气体流动 狭小空间 出水管 供气管 进水管 排气孔 吹扫 水冷 冷却
【主权项】:
1.一种集成式水冷板,包括板体(1),所述板体(1)的顶部形成有冷却水道(2),所述板体(1)的底部设有与所述冷却水道(2)连通的进水管(3)和出水管(4),其特征在于:所述板体(1)的顶部还设有气道(5),所述气道(5)的顶部具有排气孔(6),所述板体(1)的底部设有与所述气道(5)连通的供气管(7)。
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