[实用新型]一种焰熔法数控晶体生长炉有效
| 申请号: | 201721611398.8 | 申请日: | 2017-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN207537594U | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
| 发明(设计)人: | 毕孝国;周文平;唐坚;刘旭东;孙旭东 | 申请(专利权)人: | 沈阳工程学院 |
| 主分类号: | C30B11/10 | 分类号: | C30B11/10;C30B29/16;C30B29/32 |
| 代理公司: | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 | 代理人: | 屈芳 |
| 地址: | 110136 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 本实用新型属于新材料领域,为一种焰熔法数控晶体生长炉,包括:晶体生长系统,包括晶体生长炉、穿入晶体生长炉内,用于作为晶体生长的载体的晶体生长基座杆,通过电机带动传动丝杠传递至晶体晶体生长基座杆做上下运动的升降速度控制机构;原料供应系统,包括锥形原料仓,在所述原料仓内设置筛网,所述原料仓的进料口安装有筛网振动机构;燃料供应系统,通过管线连接至生长室;数字控制系统,向升降速度控制机构、筛网振动振幅控制机构、筛网振动频率控制机构以及进气系统发出控制信号,并用于设置控制参数。本实用新型能够生长出微观结构完整的高品质的高温下特别是熔体状态下具有分解倾向的高温氧化物单晶体,如钛酸锶、金红石等单晶体。 | ||
| 搜索关键词: | 晶体生长炉 原料仓 筛网 升降速度控制 本实用新型 晶体生长 单晶体 基座杆 焰熔法 数控 晶体生长系统 燃料供应系统 筛网振动机构 设置控制参数 数字控制系统 原料供应系统 振动频率控制 高温氧化物 新材料领域 传动丝杠 电机带动 管线连接 进气系统 晶体晶体 控制信号 熔体状态 上下运动 微观结构 振动振幅 生长 高品质 金红石 进料口 生长室 钛酸锶 穿入 分解 传递 | ||
【主权项】:
1.一种焰熔法数控晶体生长炉,其特征在于,该生长炉包括:晶体生长系统,包括晶体生长炉、穿入晶体生长炉内,用于作为晶体生长的载体的晶体生长基座杆,通过电机带动传动丝杠传递至晶体晶体生长基座杆做上下运动的升降速度控制机构;原料供应系统,包括锥形原料仓,在所述原料仓内设置筛网,所述原料仓的进料口安装有筛网振动机构;燃料供应系统,通过管线连接至生长室;数字控制系统,向升降速度控制机构、筛网振动振幅控制机构、筛网振动频率控制机构以及进气系统发出控制信号,并用于设置控制参数。
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