[实用新型]一种硅片快速风干槽有效
| 申请号： | 201721602346.4 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN207528015U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈忠海 | 申请（专利权）人： | 苏州德瑞姆超声科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/18 | 分类号： | F26B15/18;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 苏州凯谦巨邦专利代理事务所(普通合伙) 32303 | 代理人： | 丁剑 |
| 地址： | 215600 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片快速风干槽，包括第一支撑架，第一支撑架的上表面设有传送带，传送带的上表面设有橡胶条，橡胶条的上表面设有卡接槽，传送带的前后两侧面设有两个前后对称设置的护板，护板的外侧面设有支撑板，支撑板的下表面设有第二支撑架，支撑板的后侧面设有托板，托板的上表面从左往右依次设有气泵、单片机和过滤箱，过滤箱的内侧面设有电加热片，本硅片快速风干槽，结构简单，操作方便，使用时占用空间小，可以快速将清洗完成后的硅片风干，吸气嘴可以对热风进行回收，干燥器过滤网可以将空气中的水蒸气过滤清除，灰尘过滤网可以将空气中的灰尘过滤清除，橡胶条的设置有利于硅片的快速风干。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 快速风干 上表面 传送带 橡胶条 支撑板 支撑架 过滤箱 护板 托板 水蒸气 本实用新型 灰尘过滤网 电加热片 灰尘过滤 前后对称 占用空间 单片机 干燥器 过滤网 后侧面 卡接槽 两侧面 外侧面 吸气嘴 下表面 风干 热风 气泵 过滤 清洗 侧面 回收 | ||
【主权项】：
1.一种硅片快速风干槽，包括第一支撑架(1)，其特征在于：所述第一支撑架(1)的上表面设有传送带(16)，传送带(16)的上表面设有橡胶条(15)，橡胶条(15)的上表面设有卡接槽，传送带(16)的前后两侧面设有两个前后对称设置的护板(4)，护板(4)的外侧面设有支撑板(3)，支撑板(3)的下表面设有第二支撑架(2)，支撑板(3)的后侧面设有托板(19)，托板(19)的上表面从左往右依次设有气泵(18)、单片机(17)和过滤箱(10)，过滤箱(10)的内侧面设有电加热片(21)，支撑板(3)的下表面设有第二分流管(22)，第二分流管(22)的外侧面下端设有吹气嘴，第二分流管(22)的左端面设有连接管(13)，连接管(13)的外侧面左侧设有第一分流管(14)，所述第一分流管(14)的外侧面紧靠传送带(16)的上表面设置，连接管(13)的外侧面通过热风管(12)与气泵(18)的出气口相连，气泵(18)的进气口通过导流管(11)与过滤箱(10)的左侧面相连，支撑板(3)通过设置在其上表面右侧的支撑杆(6)连接有吸气嘴(5)，吸气嘴(5)的上表面通过进风管(7)与过滤箱(10)的右侧面相连，单片机(17)的输入端与外部电源的输出端电连接，单片机(17)的输出端分别与气泵(18)和电加热片(21)的输入端电连接。
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