[实用新型]一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统有效
| 申请号： | 201721587953.8 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN207468775U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 囤国超;肖祥江;吕春富;董汝昆;柳廷龙;陈朝向;杨嗣文;梁鹏 | 申请（专利权）人： | 云南鑫耀半导体材料有限公司;云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/00 | 分类号： | C30B27/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 和琳 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统，涉及磷化铟单晶生长制备技术领域，尤其是一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统，其特征在于该系统包括单晶炉、氮气瓶、机械泵、减压阀和截止阀，单晶炉与氮气瓶和机械泵分别通过管道进行连通，所述的减压阀设置在单晶炉与氮气瓶连通的管道上，靠近单晶炉、氮气瓶和机械泵的管道上分别设置有截止阀。本实用新型的一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统，设计科学，结构合理，通过机械泵与单晶炉连接结构，保证了单晶炉在充入氮气前，炉内的真空度达到所需标准，能有效改善磷化铟单晶的质量，有效降低氮气充入单晶炉内时压强，以便于控制单晶炉内的压强差，防止石英管发生爆炸，进而降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 磷化铟单晶 氮气系统 氮气瓶 机械泵 生长 减压阀 氮气 截止阀 连通 制备技术领域 压强 本实用新型 连接结构 生产效率 石英管 压强差 炉内 爆炸 保证 | ||
【主权项】：
一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统，其特征在于该系统包括单晶炉（1）、氮气瓶（2）、机械泵（3）、减压阀（4）和截止阀，单晶炉（1）与氮气瓶（2）和机械泵（3）分别通过管道进行连通，所述的减压阀（4）为两个，设置在单晶炉（1）与氮气瓶（2）连通的管道上，靠近单晶炉（1）、氮气瓶（2）和机械泵（3）的管道上分别设置有截止阀，所述的截止阀分为第一截止阀（5）、第二截止阀（6）和第三截止阀（7），第一截止阀（5）设置在靠近单晶炉（1）的管道上，第二截止阀（6）设置在靠近氮气瓶（2）的管道上，第三截止阀（7）设置在靠近机械泵（3）的管道上。
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