[实用新型]一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置有效
| 申请号： | 201721587694.9 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN207582002U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 肖祥江;囤国超;吕春富;任洋;董汝昆;陈朝向;杨嗣文;梁鹏 | 申请（专利权）人： | 云南鑫耀半导体材料有限公司;云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 和琳 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置，涉及磷化铟单晶材料制备技术领域，尤其是一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置，该装置包括支撑底座和活动支架，活动支架安装在支撑底座之间；所述的活动支架包括矩形框体、上矩形盖板、下矩形盖板和密封丝杆，矩形框体、上矩形盖板和下矩形盖板中部位置均设置有限位圆孔，矩形框体、上矩形盖板和下矩形盖板的四角均设置有密封圆孔，密封丝杠顶端和底端均设置有螺帽，密封丝杠将下矩形盖板、矩形框体和上矩形盖板连接在一起；所述的支撑底座包括支撑板、矩形板和横拉板。本实用新型一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置，设计科学合理，能有效稳固地支撑磷化铟单晶炉体，并在装炉或出炉时，操作方便且省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形盖板 磷化铟单晶 矩形框体 支撑装置 生长炉 活动支架 支撑底座 密封丝杠 材料制备技术 螺帽 本实用新型 密封丝杆 密封圆孔 中部位置 横拉板 矩形板 支撑板 出炉 底端 炉体 省力 省时 圆孔 装炉 稳固 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种磷化铟单晶生长炉的支撑装置，其特征在于，该装置包括支撑底座和活动支架，活动支架安装在支撑底座之间；所述的活动支架包括矩形框体（1）、上矩形盖板（2）、下矩形盖板（3）和密封丝杆（4），上矩形盖板（2）和下矩形盖板（3）分别设置在矩形框体（1）的上方和下方位置，矩形框体（1）、上矩形盖板（2）和下矩形盖板（3）中部位置均设置有限位圆孔（5），限位圆孔（5）上下位置对应，矩形框体（1）、上矩形盖板（2）和下矩形盖板（3）的四角均设置有密封圆孔（6），密封圆孔（6）上下位置对应，密封丝杆（4）为四个，每一个密封丝杆（4）顶端和底端均设置有螺帽（7），密封丝杆（4）依次穿过下矩形盖板（3）、矩形框体（1）和上矩形盖板（2）四角对应位置的密封圆孔（6），并通过螺帽（7）固定，将下矩形盖板（3）、矩形框体（1）和上矩形盖板（2）连接在一起；所述的支撑底座包括支撑板（8）、矩形板（9）和横拉板（10），支撑板（8）为两块，通过若干个横拉板（10）连接在一起，并对称设置在活动支架两侧，每一块支撑板（8）顶部均设置有矩形板（9），所述的矩形板（9）上设置有螺栓（11），矩形板（9）通过螺栓（11）固定在矩形框体（1）两侧。
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