[实用新型]一种防水MEMS压力传感器有效
| 申请号： | 201721580387.8 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN207556746U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 鱼婧;王德信 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/14 | 分类号： | G01L19/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防水MEMS压力传感器，包括基板，与所述基板形成收容空间的外壳，位于所述收容空间内的芯片及应用电路，所述外壳上设置有贯穿的通孔，所述通孔处设有防水膜，所述防水膜与所述外壳通过注塑一体成型。所述防水膜可以阻止外界水分进入传感器内部，同时允许外界气体透过。本实用新型的防水MEMS压力传感器，可有效提升MEMS压力传感器的防水性能。 | ||
| 搜索关键词： | 防水膜 防水 本实用新型 收容空间 基板 通孔 注塑一体成型 防水性能 外界气体 应用电路 传感器 芯片 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种防水MEMS压力传感器，包括基板，与所述基板形成收容空间的外壳，位于所述收容空间内的芯片及应用电路，其特征在于，所述外壳上设置有贯穿的通孔，所述通孔处设有防水膜，所述外壳与防水膜通过注塑一体成型。
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