[实用新型]一种位置检测装置及晶圆反应设备

摘要

本实用新型提供了一种位置检测装置及晶圆反应设备，应用于晶圆反应设备上，晶圆反应设备包括传送腔体以及与传送腔体连接的反应腔体，传送腔体的顶部设置有一顶盖，顶盖包括固定盖合结构，以及可开合的盖板，传送腔体中包括一传送机构，传送机构用以将晶圆沿着传送位置传送至反应腔体中，其特征在于，包括：多个透明区域，分别设置于固定盖合结构上，并对应分布在传送位置的周围；多个检测传感器，设置透明区域上，并与透明区域一一对应。其技术方案的有益效果在于，上述的位置检测装置可方便的检测传送腔体内的晶圆的传送位置是否出现偏差，并且通过将位置检测装置设置在固定盖合结构上，不受盖板开合的影响。 1

主权项

1.一种位置检测装置，应用于晶圆反应设备上，所述晶圆反应设备包括传送腔体以及与所述传送腔体连接的反应腔体，所述传送腔体的顶部设置有一顶盖，所述顶盖包括固定盖合结构，以及可开合的盖板，所述传送腔体中包括一传送机构，所述传送机构用以将晶圆沿着传送位置传送至所述反应腔体中，其特征在于，包括：

多个透明区域，分别设置于所述固定盖合结构上，并对应分布在所述传送位置的周围；

多个检测传感器，设置所述透明区域上，并与所述透明区域一一对应。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述检测传感器为位置检测传感器。

3.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述透明区域由玻璃材质制成。

4.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，还包括一活动手臂，所述活动手臂一端与一驱动单元连接，另一端与所述盖板的顶部连接，所述活动手臂用以打开或者关闭所述盖板。

5.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述传送位置的每一侧至少设置有一对所述检测传感器。

6.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述盖板正对所述传送位置设置在所述顶盖上。

7.一种晶圆反应设备，包括传送腔体，其特征在于，所述传送腔体的顶部设置有如权利要求1‑6中任一所述的位置检测装置。