[实用新型]具有疏水防粘连结构的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201721540286.8 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207603582U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;陈海龙 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市经济技术开发区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种具有疏水防粘连结构的薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括自下而上依次堆叠的基片、疏水结构、下电极、压电薄膜以及上电极；其中，所述基片的上表面设置有空气隙，所述疏水结构设置在所述基片上与所述空气隙对应的位置；所述疏水结构包括聚合物材料制成的聚合物层；所述聚合物层的上表面包括若干锥状突起；所述锥状突起的间距为0.1‑1微米。本实用新型提供的薄膜体声波谐振器中，在基底与薄膜之间设置有疏水结构，有效避免垂直于其表面的表面张力作用，减少薄膜和基底的粘连现象的产生，相比较现有技术，可以提高薄膜体声波谐振器的成品率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜体声波谐振器 疏水结构 聚合物层 锥状突起 防粘连 空气隙 上表面 基底 疏水 薄膜 表面张力作用 本实用新型 聚合物材料 压电薄膜 粘连现象 成品率 下电极 电极 堆叠 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种具有疏水防粘连结构的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器包括自下而上依次堆叠的基片、疏水结构、下电极、压电薄膜以及上电极；其中，所述基片的上表面设置有空气隙，所述疏水结构设置在所述基片上与所述空气隙对应的位置；所述疏水结构包括聚合物材料制成的聚合物层；所述聚合物层的上表面包括若干锥状突起；所述锥状突起的间距为0.1‑1微米。
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