[实用新型]一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜有效
| 申请号： | 201721506658.5 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN208156297U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 谢海忠;孔庆峰;彭效冉 | 申请（专利权）人： | 明德之星（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙) 11583 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 100086 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，包括:硅衬底；在硅衬底上形成的多层线圈，每个线圈具有垫点和中心点；覆盖所述多层线圈的介电层；及在所述硅衬底上封装所述多层线圈的变形镜面，其中所述变形镜面包括：反射镜层，在反射镜层下表面上形成的介电层；在介电层的下表面的周边区域中形成Si层；以及在介电层的下表面的中心区域中形成的永磁性材料层；其中所述多层线圈的各层之间通过垫点和中心点进行接触，使得从硅衬底起由下而上依次排序，所述多层线圈的奇数层与偶数层之间通过中心点接触，偶数层与奇数层之间通过垫点接触；在第一层线圈的垫点上以及最后一层线圈的垫点或中心点上形成有与外部互联的两个焊点。 | ||
| 搜索关键词： | 多层线圈 硅衬底 介电层 中心点 下表面 电磁线圈驱动 镜面 多层平面 反射镜层 偶数层 奇数层 变形 焊点 本实用新型 永磁性材料 中心区域 周边区域 第一层 点接触 封装 排序 互联 外部 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，包括:硅衬底(11)；在硅衬底(11)上形成的多层线圈(14)，每个线圈具有垫点和中心点；覆盖所述多层线圈(14)的介电层(15)；以及在所述硅衬底(11)上封装所述多层线圈(14)的变形镜面，其中所述变形镜面包括：反射镜层(21)，在反射镜层下表面上形成的介电层(25)；在介电层(25)的下表面的周边区域中形成Si层；以及在介电层(25)的下表面的中心区域中形成的永磁性材料层(22)；其中，所述多层线圈的各层之间通过垫点或中心点进行接触，使得从硅衬底起由下而上依次排序，所述多层线圈的奇数层与偶数层之间通过中心点接触，偶数层与奇数层之间通过垫点接触；在第一层线圈的垫点上以及最后一层线圈的垫点或者中心点上形成有与外部互联的两个焊点。
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