[实用新型]一种电子级六氟化硫生产用精馏装置

摘要

本实用新型公开一种电子级六氟化硫生产用精馏装置，包括罐体、底座和安装座，所述罐体底面设置有所述底座，所述底座底面设置有所述安装座，所述罐体侧面上部设置有进气管，所述罐体侧面下部设置有出液管，所述出液管上设置有电磁阀一，所述出液管内侧设置有流量传感器。有益效果在于：本装置设置有压力传感器、控制主机和加压泵组成的反馈控制回路，能够自动准确控制加压压力值至预设值，同时设置有温度传感器、控制主机和电加热板组成的反馈控制回路，能够自动控制加热温度至预设值，保障了六氟化硫的精馏效果，同时设置有流量传感器，能够实时获取出液管处的流量信息并转换为产品排出量在显示屏上显示供使用者观察统计，操作方便。

主权项

1.一种电子级六氟化硫生产用精馏装置，其特征在于：包括罐体、底座和安装座，所述罐体底面设置有所述底座，所述底座底面设置有所述安装座，所述罐体侧面上部设置有进气管，所述罐体侧面下部设置有出液管，所述出液管上设置有电磁阀一，所述出液管内侧设置有流量传感器，所述底座内部底面设置有泵座，所述泵座上设置有加压泵，所述加压泵端部设置有加压管路，所述加压管路上设置有电磁阀二，所述罐体内侧设置有耐压层，所述耐压层旁侧设置有保温层，所述罐体内部侧面设置有电加热板，所述电加热板上方设置有压力传感器，所述压力传感器旁侧设置有温度传感器，所述罐体表面设置有控制主机，所述控制主机上设置有显示屏，所述显示屏旁侧设置有控制键盘。