[实用新型]一种真空烧结炉用抽真空系统

摘要

本实用新型涉及真空烧结炉抽真空技术领域，公开了一种真空烧结炉用抽真空系统，包括主抽管道、预抽管道和前级管道，所述主抽管道上设有主抽阀，所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通，所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端，所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。通过缓抽管道上的气动缓抽阀和手动缓抽阀实现对真空烧结炉内的气体进行小抽速的缓抽，有效防止工件粉末扬起而污染主抽泵，提高主抽泵的性能；同时，平衡预抽管道和主抽管道之间的压力差，维持工艺分压时所需的真空度，结构简单，保证了烧结炉内的真空度，提高生产效率。

主权项

1.一种真空烧结炉用抽真空系统，其特征在于，包括主抽管道、预抽管道和前级管道，所述主抽管道一端与真空烧结炉连通，所述主抽管道的另一端连接设有主抽泵，所述主抽管道上设有主抽阀，所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通，所述预抽管道的另一端连接设有预抽泵，所述预抽管道上设有预抽阀，所述前级管道的两端分别与所述主抽泵和所述预抽管道连接，所述前级管道上设有前级阀，所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端，所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。