[实用新型]一种双面研磨抛光机用上磨盘放置装置

摘要

本实用新型公开了一种双面研磨抛光机用上磨盘放置装置，包括机身，所述机身的侧面安装上磨盘放置装置，所述上磨盘放置装置由横架板、竖架板、固定板、内六角螺栓、转轴、限位杆、磁铁、竖支撑板和横支撑板组成，所述固定板通过内六角螺栓固定安装在机身上，竖支撑板通过转轴活动安装在横架板上，所述横支撑板的底部固定连接有罩壳。本双面研磨抛光机用上磨盘放置装置，通过在机身的侧面安装上磨盘放置装置，限位杆插入将竖支撑板限定住，将上磨盘取下后开口向下随手放置在横支撑板上，罩壳将上磨盘的底部罩住，本装置实现上磨盘取用方便，可以随手放置，而且可以避免受到灰尘杂质污染提高硅片精度。

主权项

1.一种双面研磨抛光机用上磨盘放置装置，包括机身(1)，其特征在于：所述机身(1)的正前方设置有调节按钮(6)，所述机身(1)的中央设置有磨腔(2)，所述磨腔(2)的顶端盖有上磨盘(3)，所述磨腔(2)的侧面设置有冷却液管(4)，所述机身(1)的侧面安装上磨盘放置装置(5)，所述上磨盘放置装置(5)由横架板(51)、竖架板(52)、固定板(53)、内六角螺栓(54)、转轴(55)、限位杆(56)、磁铁(57)、竖支撑板(58)和横支撑板(59)组成，所述横架板(51)固定连接在固定板(53)上，所述固定板(53)通过内六角螺栓(54)固定安装在机身(1)上，所述横架板(51)的顶部固定连接竖架板(52)，所述横架板(51)的内侧设置有竖支撑板(58)，竖支撑板(58)的底端固定贯穿转轴(55)，竖支撑板(58)通过转轴(55)活动安装在横架板(51)上，所述竖架板(52)上活动插接有限位杆(56)，所述竖架板(52)的侧面固定连接磁铁(57)，所述竖支撑板(58)靠近磨腔(2)的一侧固定连接横支撑板(59)，所述横支撑板(59)的底部固定连接有罩壳(591)。