[实用新型]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机的炉体底盘组件有效
| 申请号： | 201721420859.3 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207845762U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 何秋林;周克佑 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机的炉体底盘组件，包括底盘和附加法兰；所述底盘水平设置，其上同心开有不同直径的环形密封槽，所述密封槽内安装有真空密封圈；所述附加法兰底面用于与所述底盘通过所述真空密封圈密封对接，顶面也设置有真空密封圈,所述附加法兰用于补偿不同高度罐体的高度差，使不同高度罐体，在镀膜时，其顶部高度均可以位于一个特定的范围内。本实用新型炉体底盘组件可适配不同罐体内径和高度镀膜，使不同高度罐体，在镀膜时，其顶部高度均可以位于一个特定的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 罐体 真空密封圈 炉体底盘 法兰 真空阴极电弧镀膜 本实用新型 大型罐 底盘 体内 环形密封槽 底盘水平 密封对接 高度差 密封槽 底面 顶面 适配 同心 | ||
【主权项】：
1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机的炉体底盘组件，其特征在于，包括底盘和附加法兰；所述底盘水平设置，其上同心开有不同直径的环形密封槽，所述密封槽内安装有真空密封圈；所述附加法兰底面用于与所述底盘通过所述真空密封圈密封对接，顶面也设置有真空密封圈,所述附加法兰用于补偿不同高度罐体的高度差，使不同高度罐体，在镀膜时，其顶部高度均可以位于一个特定的范围内。
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