[实用新型]一种光刻机硅片转移机构有效
| 申请号： | 201721409866.3 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN207473297U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 刘炫烨 | 申请（专利权）人： | 无锡源代码科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及转移机构技术领域，尤其为一种光刻机硅片转移机构，包括机架、外侧板、硅片等待器、内侧板与收纳盒，所述机架的下端外表面固定安装有支腿，所述外侧板的前端外表面固定安装有步进电机，且外侧板的一侧外表面固定安装有抗干扰器，所述硅片等待器的下端外表面设有传送带，所述内侧板的一侧外表面固定安装有校正感应发射器，且校正感应发射器的一侧固定安装有光刻输入器。本实用新型所述的一种光刻机硅片转移机构，设有环形传送带、抗干扰器和收纳盒，能够在硅片转移过程中保护硅片不受损失，加快转移速度，并能消除来自外界的干扰因素，还能将硅片进行收纳整理，带来更好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 转移机构 光刻机硅片 外侧板 本实用新型 感应发射器 抗干扰器 内侧板 收纳盒 下端 校正 环形传送带 前端外表面 传送带 收纳 步进电机 干扰因素 输入器 光刻 支腿 | ||
【主权项】：
一种光刻机硅片转移机构，包括机架(1)、外侧板(4)、硅片等待器(7)、内侧板(9)与收纳盒(12)，其特征在于：所述机架(1)的下端外表面固定安装有支腿(2)，所述外侧板(4)的前端外表面固定安装有步进电机(5)，且外侧板(4)的一侧外表面固定安装有抗干扰器(6)，所述硅片等待器(7)的下端外表面设有环形传送带(8)，所述内侧板(9)的一侧外表面固定安装有校正感应发射器(10)，且校正感应发射器(10)的一侧固定安装有光刻输入器(11)，所述收纳盒(12)的前端外表面固定安装有报警灯(16)，且收纳盒(12)的一侧固定安装有光刻输出器(14)，所述收纳盒(12)的内部设有隔板(13)，所述光刻输入器(11)的上端外表面固定安装有校正感应接收器(15)。
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