[实用新型]一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备有效
申请号: | 201721390837.7 | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN207331044U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 刘金彪;奉洛阳;范聪;朱伍权;易平安;徐豹;李有亮;张相波;刘鹏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备,涉及OLED制备技术领域,为解决现有蒸镀用角度限制机构在生产过程中若需要变更角度则必须停机更换限制件而导致生产效率降低的问题。该蒸镀用角度限制机构,包括两个限制件,两个所述限制件包括互相靠近的限制端,两个所述限制端用于共同限定蒸镀源喷出的材料能够通过二者之间的角度范围,至少一个所述限制件连接有驱动件,所述驱动件用于驱动相应的所述限制件运动,随着所述限制件的运动,两个所述限制端共同限定出的所述角度范围可改变。本实用新型用于限制蒸镀源喷出的材料沉积在基板上的范围。 | ||
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【主权项】:
1.一种蒸镀用角度限制机构,包括两个限制件,两个所述限制件包括互相靠近的限制端,两个所述限制端用于共同限定蒸镀源喷出的材料能够通过二者之间的角度范围,其特征在于,至少一个所述限制件连接有驱动件,所述驱动件用于驱动相应的所述限制件运动,随着所述限制件的运动,两个所述限制端共同限定出的所述角度范围可改变。
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