[实用新型]一种具有可调节电极的PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种具有可调节电极的PECVD设备，PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源连接的触片，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括阴极电极板以及固定连接在阴极电极板下方的阳极电极板，当电极模组插入时，阴极电极板的左右侧边与镀膜空腔的左右两竖直侧壁接触形成接地，阳极电极板的左右侧边通过触片与射频电源连接，本电极之间的间距可以根据需要进行灵活调节，满足了不同大小工件的多样化加工需求，较大程度的利用了镀膜空间，大大节省了纳米材料。

主权项

1.一种具有可调节电极的PECVD设备，其特征在于，所述PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端呈开口状且开口处铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别固定安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，所述左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源连接的触片，所述左绝缘条阵列的多个长条形绝缘条和右绝缘条阵列的多个长条形绝缘条一一正对设置，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括阴极电极板以及固定连接在阴极电极板下方的阳极电极板，所述阴极电极板左右侧边之间的宽度大于阳极电极板左右侧边之间的宽度，所述阴极电极板与阳极电极板通过绝缘体固定连接，当所述电极模组插入时，阴极电极板的左右侧边与镀膜空腔的左右两竖直侧壁接触形成接地，阳极电极板的左右侧边通过触片与射频电源连接。