[实用新型]石英舟的吹干装置有效
| 申请号： | 201721316915.9 | 申请日： | 2017-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN207233710U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张黎;彭平;夏中高;梁西正;曹允波;彭齐军;阮宏伟;陈庆发;梁红菲 | 申请（专利权）人： | 平煤隆基新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 郑州科维专利代理有限公司41102 | 代理人： | 王理君 |
| 地址： | 452670 河南省许*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅太阳能电池制造领域，尤其涉及一种用清洗后石英舟的吹干装置，包括风干槽体，所述风干槽体内部为上下贯通的空腔，石英舟设置于风干槽体的空腔中，石英舟与风干槽体内壁留有间隙，风干槽体一端连接有驱动电机，风干槽体在驱动电机牵引下能够与石英舟产生相对位移，所述风干槽体的侧壁上均设置有通道，通道中设置有进气管道，所述进气管道上设置有开孔，所述开孔处安装有高压喷嘴，该石英舟的吹干装置能够对石英舟自动进行循环吹扫，清扫吹干速度快、效率高，节省劳动力，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 吹干 装置 | ||
【主权项】：
一种石英舟的吹干装置，其特征在于：包括风干槽体，所述风干槽体内部为上下贯通的空腔，石英舟设置于风干槽体的空腔中，石英舟与风干槽体内壁留有间隙，风干槽体一端连接有驱动电机，风干槽体在驱动电机牵引下能够与石英舟产生相对位移，所述风干槽体的侧壁上均设置有通道，通道中设置有进气管道，所述进气管道上设置有开孔，所述开孔处安装有高压喷嘴。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
