[实用新型]装料装置有效
| 申请号： | 201721289694.0 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN206916215U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 董孝斌;沈世富;徐娟;邵波;尹汪洋 | 申请（专利权）人： | 深圳市裕展精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人： | 谢蓓,蒋志行 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市观澜富士康鸿观科技园B区厂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种装料装置，用以装载一待PVD处理的工件，所述装料装置包括上盖及下盖，所述上盖包括上盖体，所述下盖包括下盖体，所述上盖体及所述下盖体将所述工件装夹在两者之间，所述上盖还包括有安装在所述上盖体上的导电弹片，所述导电弹片接触所述工件，所述装料装置还包括有卡扣件，所述上盖体设有上卡孔，所述下盖体设有下卡孔，所述卡扣件卡入所述上卡孔及下卡孔中将所述上盖与所述下盖卡扣在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 装料 装置 | ||
【主权项】：
一种装料装置，用以装载一待处理的工件，所述装料装置包括上盖及下盖，所述上盖包括上盖体，所述下盖包括下盖体，所述上盖体及所述下盖体将所述工件装夹在两者之间，其特征在于：所述上盖还包括有安装在所述上盖体上的导电弹片，所述导电弹片接触所述工件，所述装料装置还包括有卡扣件，所述上盖体设有上卡孔，所述下盖体设有下卡孔，所述卡扣件卡入所述上卡孔及下卡孔中将所述上盖与所述下盖卡扣在一起。
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