[实用新型]晶片厚度测量装置有效
| 申请号： | 201721274721.7 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN207816146U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张强 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶片厚度测量装置，属于LED蓝宝石衬底片加工技术领域。本实用新型包括底座、固定架和量表架,固定架和量表架垂直固定在底座上，固定架上设有晶片保持件,量表架上装有量表，量表探针和晶片保持件在同一水平线上；本实用新型通过将传统的点对面测量转化为点对点测量，在竖直支架上的晶片保持件和量表内的弹簧使晶片竖直悬空，通过晶片保持件和量表探针夹持进行测量，与晶片的接触部分都是点状的，减小了传统方法因平面磨损而造成的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 量表 晶片保持件 本实用新型 固定架 底座 晶片 晶片厚度测量装置 测量 厚度测量装置 加工技术领域 点对点测量 同一水平线 垂直固定 竖直支架 衬底片 传统的 探针夹 弹簧 点状 减小 竖直 探针 种晶 磨损 悬空 转化 | ||
【主权项】：
1.一种晶片厚度测量装置，其特征在于，包括底座(1)、固定架(2)和量表架(3),固定架(2)和量表架(3)垂直固定在底座(1)上，固定架(2)上设有晶片保持件(4),量表架(3)上装有量表，量表的探针(6)和晶片保持件(4)在同一水平线上；所述晶片保持件(4)后端固定在固定架(2)上，前端为光洁弧面。
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