[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的侧面加热器

摘要

本实用新型提供了一种用于多晶硅铸锭炉的侧面加热器，所包括的边部加热板、角部加热板以及连接板均为碳‑碳复合材料材质；由于碳‑碳复合材料本身密度比石墨小，所以本申请中的侧面加热器的重量比现有石墨材质的侧面加热器重量减轻了60％；且强度、韧性等力学性能比石墨更好，使得本申请中的侧面加热器比现有的石墨材质的侧面加热器更耐用，使用寿命更长；且在实现同等电加热功率的情况下，本申请中的侧面加热器的壁厚只需要5‑6mm，比石墨材质的侧面加热器的壁厚减薄了10mm以上，从而可以扩大多晶硅铸锭炉内热场的径向尺寸。

主权项

1.一种用于多晶硅铸锭炉的侧面加热器，其特征在于，包括至少两个加热环、三个电极吊臂、螺栓以及螺母；每个加热环包括四块边部加热板、四块角部加热板、八块连接板、螺栓以及螺母；每个加热环中的四块边部加热板、四块角部加热板以及八块连接板均为碳-碳复合材料材质；所述加热环为横截面为八边形的薄壁短管状结构，每个加热环中的四块边部加热板一一对应所述多晶硅铸锭炉中的长方体状的石英坩埚的四个侧面以用于分别对石英坩埚的四个侧面进行加热，每个加热环中的四块角部加热板一一对应所述多晶硅铸锭炉中的长方体状的石英坩埚的四个角以用于分别对石英坩埚的四个角进行加热，且每个加热环中的相邻的两块边部加热板的长度延长线相互垂直，每个加热环中的相邻的角部加热板与边部加热板之间的夹角为135度，每个加热环中的四块边部加热板、四块角部加热板以及八块连接板上均开设有用于插入所述螺栓的通孔，每个加热环中的每一块所述连接板的一端通过螺栓配合螺母连接在所述角部加热板上且另一端通过螺栓配合螺母连接在所述边部加热板上以实现将相邻的角部加热板与边部加热板连接在一起；三个电极吊臂上均开设有用于插入所述螺栓的通孔；每个加热环中的四块边部加热板中的三块上均开设有用于插入所述螺栓的通孔；三个电极吊臂与每个加热环中的三块开有通孔的边部加热板一一对应地通过螺栓配合螺母连接；至少两个加热环通过螺栓配合螺母固定在三个电极吊臂上以构成至少两个加热环从上到下叠加且相互之间间隔一定间距。