[实用新型]一种晶圆检测设备的扩晶环自动上下料系统

摘要

本实用新型提出了一种晶圆检测设备的扩晶环自动上下料系统，解决了常见人工将晶体待测体放置到载片台上进行检测的方式生产效率低的问题，包括载片台组件；承载有待检测晶圆的扩晶环的料盒，料盒内设置有若干用于承载扩晶环的承载板；用于将扩晶环在料盒和载片台组件进行循环转运的扩晶环转送装置，扩晶环转送装置包括可置入料盒内的载物部；对承载板上承载的扩晶环进行感应的第一传感器；与第一传感器电连接的控制器；以及，由控制器控制驱动料盒与载物部之间发生相对运动以将承载板上扩晶环运送到载物部上或者将载物部承载上的扩晶环运送到承载板上的升降组件，达到实现扩晶环上下料过程的自动化、提高生产效率的目的。

主权项

一种晶圆检测设备的扩晶环自动上下料系统，其特征在于，包括：用于对承载在扩晶环上的晶圆进行检测的载片台组件(1)；设于所述载片台组件(1)一侧、用于向所述载片台组件(1)提供承载有待检测晶圆的扩晶环并供晶圆检测完成的扩晶环重新收集存放的料盒(2)，所述料盒(2)内设置有若干沿第一方向布设在所述料盒(2)围成腔体相对两侧板(21)内壁上的、用于在所述第一方向的不同位置承载扩晶环的承载板(22)；设于所述料盒(2)和所述载片台组件(1)之间的、用于将所述料盒(2)内的扩晶环输送到所述载片台组件(1)上进行检测、并将检测完成的扩晶环返送到所述料盒(2)内的扩晶环转送装置，所述扩晶环转送装置包括可置入所述料盒(2)相邻两个所述承载板(22)形成空间内的载物部(47)；对所述承载板(22)上承载的扩晶环进行感应的第一传感器(6)；与所述第一传感器(6)电连接的控制器；以及，与所述控制器电连接的、用于当所述第一传感器(6)所得感应信号指示某一所述承载板(22)上承载有或未承载所述扩晶环时、受所述控制器控制相应驱动所述料盒(2)与所述载物部(47)之间发生沿所述第一方向的相对运动以将相应所述承载板(22)上承载的所述扩晶环运送到所述载物部(47)上以进行检测或者将所述载物部(47)承载的检测完成的所述扩晶环运送到所述承载板(22)上的升降组件(7)。