[实用新型]一种可实现三维任意角度切换的行星镀膜机构

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种可实现三维任意角度切换的行星镀膜机构，其特征在于：所述第二壳体与第一壳体之间铰接使两者之间可产生垂直方向上的相对转动从而实现所述镀膜行星盘垂直角度的调整，所述第一壳体与所述保护罩之间为可拆卸式的固定连接使两者之间可产生水平方向上的相对转动从而实现所述镀膜行星盘水平面内朝向的调整。本实用新型的优点是：可达到三维任意角度，满足镀膜膜厚均匀性调整的需要，使用此行星镀膜机构，能够使镀膜机具备更高的镀各种各样面型的镜片的能力，达到膜厚均匀性得到最佳状态；同时，能够使多种镀膜产品的来回切换更便捷，切换所需人力减少，效率加快，轻松地即可将行星盘方向对准到所需求的方向。

主权项

一种可实现三维任意角度切换的行星镀膜机构，所述行星镀膜机构包括镀膜行星盘以及驱动所述镀膜行星盘转动的驱动机构，其特征在于：所述行星镀膜机构包括保护罩、第一壳体及第二壳体，所述镀膜行星盘设置在所述第二壳体的一端，所述第二壳体的另一端通过所述第一壳体与所述保护罩相连接，所述驱动机构设置在所述保护罩、所述第一壳体及所述第二壳体的内部并连接驱动所述镀膜行星盘转动；所述第二壳体与第一壳体之间铰接使两者之间可产生垂直方向上的相对转动从而实现所述镀膜行星盘垂直角度的调整，所述第一壳体与所述保护罩之间为可拆卸式的固定连接使两者之间可产生水平方向上的相对转动从而实现所述镀膜行星盘水平面内朝向的调整。