[实用新型]一种PHOTO离心机挡盖有效
| 申请号： | 201721101515.6 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN207232624U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 黄惠良;李春峰 | 申请（专利权）人： | 上海鸿辉光通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙)31289 | 代理人： | 李晓星 |
| 地址： | 201822 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PHOTO离心机挡盖，用于离心机的气流导向，包括挡盖的盖体；挡盖的盖体上径向分布有若干个气流导向孔；气流导向孔的数量为9个，沿挡盖盖体的内面居中径向等间隔分布；气流导向孔均为直径在0.8cm‑1.2cm范围之间的通孔。通过对挡盖气流导向孔的直径以及位置分布的变动，有效的控制气流负压数值及对匀胶过程中胶层的分布，通过改造后晶圆匀胶后uniformity数值从2.8％下降至1％以内，大大提高了晶圆表层涂胶后胶层的均匀性，使在图形复刻曝光过程中能更好更精确的对MASK即掩膜版进行图形复刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 photo 离心机 | ||
【主权项】：
一种PHOTO离心机挡盖，用于离心机的气流导向，包括挡盖的盖体；其特征在于，所述挡盖的盖体上径向分布有若干个气流导向孔；所述气流导向孔的数量为9个，沿所述挡盖盖体的内面居中径向等间隔分布；所述气流导向孔均为直径在0.8cm‑1.2cm范围之间的通孔。
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