[实用新型]用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统有效
| 申请号： | 201721050571.1 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN207095826U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 韩森;张齐元;王全召 | 申请（专利权）人： | 苏州维纳仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置，具有这样的特征，包括激光产生单元，用于产生至少两种波长的激光光源；光源转换单元，用于将激光光源转换为点光源；准直单元，将点光源准直形成平行光束；标准镜，用于透射平行或汇聚光束的一部分照射到光学系统上，并反射平行或汇聚光束的另一部分形成参考光束；反射单元，将经过光学系统的平行或汇聚光束的一部分反射形成测试光束；分光单元，透射点光源并接收参考光束以及测试光束进行反射；校正单元，对不同波长的光束的聚焦位置进行校正；以及成像单元，接收分光单元反射的参考光束以及测试光束进行干涉成像使得任意波长的光学系统的透射波前都能够进行干涉成像并检测。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 任意 波长 光学系统 透射 干涉 装置 及其 系统 | ||
【主权项】：
一种用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，用于对任意波长光学系统进行干涉成像，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生至少两种波长的激光光源；光源转换单元，用于将所述激光光源转换为点光源；准直单元，将所述点光源准直形成平行光束；标准镜，用于透射所述平行或汇聚光束的一部分照射到光学系统上，并反射所述平行或汇聚光束的另一部分形成参考光束；反射单元，将经过所述光学系统的所述平行或汇聚光束的一部分反射形成测试光束；分光单元，透射所述点光源并接收所述参考光束以及所述测试光束进行反射；校正单元，对不同波长的光束的聚焦位置进行校正；以及成像单元，接收所述分光单元反射的所述参考光束以及所述测试光束进行干涉成像。
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