[实用新型]一种盖板及使用该盖板的托盘组件

摘要

本实用新型为一种盖板及使用该盖板的托盘组件，盖板设置为包括板体和压爪，板体设置有复数个通孔；在板体上每个通孔的周向可拆卸连接有复数个压爪，压爪向与其对应的通孔的中心伸出。托盘组件包括托盘和前述盖板，盖板压盖在托盘上，通孔的位置与晶圆片对应。与现有技术中采用一体式压爪的结构相比，采用可拆卸压爪结构的盖板，当某些压爪损坏后可单独更换，并可根据不同的工艺和被加工件来设计多套压爪与同一个板体相配合，不仅提高了盖板的使用寿命，而且降低了制造成本。板体与不同形状的压爪配套使用，可进行工艺的快速调整，增加了工艺的灵活性。

主权项

一种盖板，其特征在于，所述盖板设置为包括板体和压爪，所述板体设置有复数个通孔；在所述板体上每个通孔的周向可拆卸连接有复数个所述压爪，所述压爪向与其对应的通孔的中心伸出。