[实用新型]一种腐蚀机自旋转夹盘装置有效
申请号: | 201720978596.1 | 申请日: | 2017-08-07 |
公开(公告)号: | CN207391553U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 秦川穹;李云良;杨定宇 | 申请(专利权)人: | 上海利正卫星应用技术有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 201108 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种腐蚀机自旋转夹盘装置,该夹盘装置用来安装蚀刻板的一面的边缘安装有若干帆状结构,用以接收蚀刻液的冲击力,带动夹盘旋转;所述帆状结构为中空结构,由左边的1/4球状外壳和右边的弧形部一体成型而成,所述弧形部由1/2圆管状外壳沿着对径向呈一定角度的方向切开所得。本实用新型在夹盘装置的边缘安装若干类似于船帆的帆状结构,利用蚀刻液对于帆状结构的定向冲击带动夹盘的旋转。由于帆状结构沿着夹盘的边缘呈周期性排布,所以夹盘在旋转的过程中能够保持均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 腐蚀 旋转 装置 | ||
【主权项】:
1.一种腐蚀机自旋转夹盘装置,其特征在于,该夹盘装置用来安装蚀刻板的一面的边缘安装有若干帆状结构(3),用以接收蚀刻液的冲击力,带动夹盘旋转;所述帆状结构(3)为中空结构,由左边的1/4球状外壳和右边的弧形部一体成型而成,所述弧形部由1/2圆管状外壳沿着对径向呈一定角度的方向切开所得。
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