[实用新型]单晶硅掏棒装置

摘要

一种单晶硅掏棒装置包括了旋转轴、入水接头、刀具接头、导流管、掏棒刀具和单晶硅棒底座；旋转轴、入水接头、刀具接头、掏棒刀具和单晶硅棒底座沿同一竖直方向安装设置；入水接头固定安装在旋转轴顶部的安装接口上；掏棒刀具通过刀具接头竖直固定安装在旋转轴的安装法兰上；导流管固定安装在旋转轴中部的通孔中，上端固定连接入水接头，下端固定连接掏棒刀具顶部的入水接口；单晶硅棒底座安装设置在设备工作台面上，位于旋转轴正下方。有益效果在于掏棒刀具与单晶硅棒的加工缝隙中冷却水通行流畅，冷却效果好，杂质排出及时，增大了刀缝活动空间，不但提高了刀具工作效率，降低了对刀具材质的要求，而且减少了对单晶硅棒掏棒质量的影响。

主权项

一种单晶硅掏棒装置，包括了旋转轴、入水接头、刀具接头、导流管、掏棒刀具和单晶硅棒底座,其特征在于：所述的旋转轴、入水接头、刀具接头、掏棒刀具和单晶硅棒底座沿同一竖直方向安装设置；所述的旋转轴为加工设备上轴向竖直设置的刀具安装旋转动力轴，中部设为通孔，顶部设置有安装接口，底部设置有安装法兰；所述的入水接头固定安装在旋转轴顶部的安装接口上；所述的掏棒刀具呈圆筒状，刀口向下，顶部设置入水接口，内外筒壁上分别均布螺纹导流槽，导流槽联通顶部的入水接口；所述的掏棒刀具通过刀具接头竖直固定安装在旋转轴的安装法兰上；所述的导流管固定安装在旋转轴中部的通孔中，上端固定连接入水接头，下端固定连接掏棒刀具顶部的入水接口；所述的单晶硅棒底座安装设置在设备工作平台上，位于旋转轴正下方。