[实用新型]一种直通式实验级升华提纯设备

摘要

本实用新型公开了一种直通式实验级升华提纯设备，包括真空泵组、真空控制器和提纯单元，提纯单元包括支架，以及位于支架上的加热装置、升华装置、密封装置、仪表、隔离过滤装置、集成控制触摸屏、检测装置、真空泵组和液氮冷阱；加热装置固定连接在升华装置的外侧；密封装置与升华装置固定连接；仪表和真空控制器固定连接在支架上；隔离过滤装置的一端与升华装置连接，隔离过滤装置的另一端与液氮冷阱的一端连接，液氮冷阱的另一端与真空泵组的真空端连接；升华装置、隔离过滤装置和真空泵组的真空端为直通式线性串联结构。该设备制造成本低，真空系统控制准确稳定，且在高真空下体系下内部实现真空场、热场均匀梯度分布，实现微平衡。

主权项

一种直通式实验级升华提纯设备，其特征在于：该设备包括真空泵组（9）、真空控制器（11）和提纯单元，提纯单元包括支架（4），以及位于支架（4）上的加热装置（1）、升华装置（2）、密封装置（3）、仪表（5）、隔离过滤装置（6）、集成控制触摸屏（7）、检测装置（8）、真空泵组（9）和液氮冷阱（10）；加热装置（1）固定连接在升华装置（2）的外侧；密封装置（3）与升华装置（2）固定连接，密封装置（3）使得升华装置（2）与外界隔离；仪表（5）和真空控制器（11）固定连接在支架（4）上；隔离过滤装置（6）的一端与升华装置（2）连接，隔离过滤装置（6）的另一端与液氮冷阱（10）的一端连接，液氮冷阱（10）的另一端与真空泵组（9）的真空端连接；升华装置（2）、隔离过滤装置（6）和真空泵组（9）的真空端为直通式线性串联结构；检测装置（8）的信号输出端口分别与控制触摸屏（7）的信号输入端口和仪表（5）的信号输入端口连接，控制触摸屏（7）的信号输出端口分别与加热装置（1）的信号输入端口和真空控制器（11）的信号输入端口连接，真空控制器（11）的信号输出端口和真空泵组（9）信号输入端口连接。