[实用新型]一种单边循环碱洗槽有效

专利信息
申请号: 201720861977.1 申请日: 2017-07-17
公开(公告)号: CN206976297U 公开(公告)日: 2018-02-06
发明(设计)人: 邵玉林 申请(专利权)人: 无锡琨圣科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 代理人: 汤东凤
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种单边循环碱洗槽,包括主槽、嵌套设置在主槽下端的副槽、设置在主槽与副槽之间的若干导液装置及回流装置;所述主槽一端侧壁上端具有一溢流槽;所述副槽与主槽之间形成一截面呈U型的空腔;所述导液装置并列设置在空腔下端,包括转轴及设置在转轴侧壁上的螺旋导液板;所述转轴内部沿中轴线方向设置有电加热丝;所述回流装置包括固定在一侧空腔上端的抽液泵、与抽液泵连接的回流管及延伸至主槽内出液管;所述出液管与回流管相连通,上端面沿中轴线方向均布若干出液口。本实用新型设计了合理的导液装置,在导液过程中能够不断对液体进行加热,既保证溶液的工作温度,又能保证液体流动的高效平稳性。
搜索关键词: 一种 单边 循环 碱洗槽
【主权项】:
一种单边循环碱洗槽,其特征在于:包括主槽、嵌套设置在主槽下端的副槽、设置在主槽与副槽之间的若干导液装置及回流装置;所述主槽上端向外延伸一架设在副槽上端面的支撑板,一端侧壁上端具有一溢流槽;所述副槽与主槽之间形成一截面呈U型的空腔;所述导液装置并列设置在空腔下端,包括转轴及设置在转轴侧壁上的螺旋导液板;所述转轴内部沿中轴线方向设置有电加热丝;所述回流装置包括固定在一侧空腔上端的抽液泵、与抽液泵连接的回流管及延伸至主槽内出液管;所述回流管沿竖直方向设置在空腔内,下端延伸至螺旋导液板端部,上端从主槽上端侧壁处延伸至主槽下端;所述出液管与回流管相连通,并通过若干固定扣固定在主槽底部,该出液管上端面沿中轴线方向均布若干出液口。
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