[实用新型]一种保护罩结构

摘要

本实用新型提供一种保护罩结构，应用于干法刻蚀设备中，干法刻蚀设备包括腔体、升降装置，升降装置包括升降结构，升降结构顶部连接一承托部件，用以托举晶圆，还包括一波纹管，波纹管套设于升降结构伸入腔体内的区段上，并连接承托部件及腔体底部，以于腔体与升降结构之间形成密封，其中，还包括：连接部件，设置于波纹管及腔体底部之间，并套设在升降结构外，用以连接波纹管及腔体底部；保护罩，罩于承托部件上，并向下延伸以遮蔽波纹管；当升降结构向下活动至最小行程时，保护罩的底部与连接部件连接腔体底部的结构之间具有一预定距离。该保护罩结构可有效隔离刻蚀工艺产生的颗粒掉落于波纹管之间，避免颗粒对波纹管的损伤。

主权项

1.一种保护罩结构，应用于干法刻蚀设备中，所述干法刻蚀设备包括一腔体，以及设置于所述腔体外的一升降装置，所述升降装置包括一升降结构，所述升降结构由所述腔体底部伸入所述腔体内，所述升降结构顶部连接一承托部件，用以托举晶圆，还包括一波纹管，所述波纹管套设于所述升降结构伸入所述腔体内的区段上，并连接所述承托部件及所述腔体底部，以于所述腔体与升降结构之间形成密封，其特征在于，还包括：连接部件，设置于所述波纹管及所述腔体底部之间，并套设在所述升降结构外，用以连接所述波纹管及所述腔体底部；保护罩，罩于所述承托部件上，并向下延伸以遮蔽所述波纹管；当所述升降结构向下活动至最小行程时，所述保护罩的底部与所述连接部件连接所述腔体底部的结构之间具有一预定距离。