[实用新型]一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置

摘要

本实用新型公开一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，属于半导体技术领域，还包括设置在甩干腔体内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体内且可转动的旋转杆、固定在旋转杆上的套筒，所述套筒上设有挡块和配重块，所述挡块和配重块固定连接为一体式，且挡块、配重块分设在套筒的两侧。本实用新型的自动锁定装置，在旋转产生的离心力作用下，挡块自动移动并卡住承载盒，避免承载盒在高速运转状态下产生位移，减少甩干过程中晶圆破损而导致产品不良率增加的情况。

主权项

一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，包括甩干喷洒机构，所述甩干喷洒机构包括承载台(6)、设置在承载台(6)外沿的甩干机外壁(1)，甩干机外壁(1)上设有若干喷头(7)，所述承载台(6)上设有若干甩干腔体(4)，所述甩干腔体(4)以承载台(6)的圆心为对称中心布置，甩干腔体(4)内设有晶圆承载盒(2)，晶圆承载盒(2)内由上至下设有若干晶圆(3)，所述甩干腔体(4)内还设有用于限位晶圆(3)的档杆(5)；其特征在于，还包括设置在甩干腔体(4)内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体(4)内且可转动的旋转杆(11)、固定在旋转杆(11)上的套筒(9)，所述套筒(9)上设有挡块(8)和配重块(10)，所述挡块(8)和配重块(10)固定连接为一体式，且挡块(8)、配重块(10)分设在套筒(9)的两侧。